ELECTRO CHEMICAL POLISING電解複合研磨
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電解複合研磨の仕組みとメリット
ステンレスなど導電性のある金属材料をナノレベルの超鏡面仕上げにする際に用いられる研磨加工技術が「電解複合研磨」と呼ばれるもので、三和産業では単純形状の材料だけでなく、3次元形状の電解複合研磨技術を開発しています。ここでは「三和産業」が技術的アドバンテージを持つこの電解複合研磨について解説します。
電解複合研磨とは
ステンレスやアルミニウム、チタンなど通電性のある金属材料の表面を「溶かす」電解研磨と「削る」物理的研磨を同時に行う複合的な研磨加工技術で、「電解砥粒研磨」とも呼ばれています。この電解複合研磨では、ナノレベルの平滑面＝超精密鏡面を得ることが可能です。
「電解複合研磨」では通常、上図のようにポンプから液状の研磨砥粒（※）を回転工具に供給しながら、対象物である金属材料に押しつけながらこれに通電し、施工します。
電解複合研磨の特徴と用途
とくにステンレスを電解複合研磨することで、超鏡面が得られるほか下記のようなさまざまなメリットがあります。
特徴
超鏡面の実現
導電性のある金属材料を電解複合研磨にかけることでナノレベルの超鏡面を実現できます。
複雑形状への追随
三和産業が独自開発した技術なら、3次元形状の複雑な曲面でも研磨が可能に。
高耐食性
SUSECP技術により研磨面は防錆性、洗浄性が向上することで高耐食性を示します。
高真空性
ナノレベルの超鏡面により高真空性が実現します。
用途
- 半導体関係装置（精密部品／真空チャンバー）
- 医薬・化学・食品製造装置 （サニタリー類／継手／タンク／熱交）
- 粉体装置
電解複合研磨可能な金属材料
三和産業で対応可能な加工材質を一覧にしています。
| ステンレス |
|
|---|---|
| チタン |
|
| その他 | ハステロイC-22 |
その他の研磨材料について
| ステンレス |
|
|---|---|
| チタン |
|
| アルミニウム |
|
| 合金・炭素鋼・合金鋼 |
|
| 特殊金属 |
|
施工別加工材質表はこちら
| 施工する材質は？ | バフ研磨 | 電解研磨 | 電解複合研磨 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 鉄材 | ステンレス | SUS303 | ● | ● | |
| SUS304 | ● | ● | ● | ||
| SUS304L | ● | ● | ● | ||
| SUS316 | ● | ● | ● | ||
| SUS316L | ● | ● | ● | ||
| SUS310S | ● | ||||
| SUS329J4L | ● | ||||
| SUS430 | ● | ||||
| SA240 TP340 | ● | ● | |||
| ハステロイ | C-22 | ● | ● | ● | |
| インコネル | I-600 | ● | ● | ||
| カーペンター | C-20 | ● | ● | ||
| 低炭素銅 | ● | ||||
| クロムモリブデン銅 | SCM440 | ● | ● | ||
| 軽金属 | チタン | Ti_2種 | ● | ● | ● |
| Ti_1種 | ● | ● | ● | ||
| Ti_JIS60種 | ● | ● | ● | ||
| アルミ | A5052 | ● | ● | ||
| A2014-T13 | ● | ● | |||
| A2027 | ● | ● | |||
| A3003 | ● | ● | |||
| タフピッチ銅 | C1100 | ● | |||
| 特殊金属 | 純モリブデン | Mo | ● | ● | |
| 純タングステン | W | ● | ● | ||
| 複合処理 | クロムメッキ（前後処理） | ● | アルマイト（前処理） | ● | |